全球光刻机产业终于迎来了一个有些“不一样”的新产品——日本佳能公司本周宣布，成功交付首台新型纳米压印光刻机。 （来源：佳能公司官网） 这里首先需要解释一下，佳能的纳米压印光刻（NIL）系统，与阿斯麦的光刻技术有什么区别。 传统的光刻机通过将电路图案投影到涂有光刻胶的晶圆上来转移电路图案， 佳能的设备则是通过将“印有电路图案的掩模像印章一样压入晶圆上的光刻胶中”来生产芯片 。由于电路图案的转移不需要通过光学机制，掩模上的精细电路图案可以在晶圆上忠实再现。 佳能在去年十月发布了全球首台商业化纳米压印光刻系统FPA-1200NZ2C， 公司表示这款设备可以实现最小线宽为14纳米的电路图案，相当于当前生产先进逻辑半导体用到的5纳米节点。 关键优势是便宜 佳能表示，相较于传统光刻机需要复杂的光学镜片构造， 纳米压印设备的构造更为简单，功耗仅需十分之一 。同时还能通过单次压印形成复杂的三维电路图案，能够处理用于最先进逻辑芯片的极细电路。 这条芯片制造路线的开发从2014年启动。去年底开始，佳能与铠侠 (Kioxia)、大日本印刷合作开始销售这款设备。 这次交付的首台设备将被送往美国得克萨斯电子研究所 。这是得克萨斯大学奥斯汀分校支持的一个团体，成员包括英特尔和其他芯片公司、公共部门和学术组织。这台设备将被用于芯片制造的研究与开发工作。 佳能光学产品副首席执行官Kazunori Iwamoto对媒体表示， 公司计划在未来3-5年内，每年销售10-20台此类设备 。 对于佳能来说，进一步推广纳米压印技术也存在一些挑战。首先由于“压印”的物理机制，这种光刻机需要更先进的技术防止细小的尘埃颗粒造成芯片缺陷。同时由于芯片制造涉及广泛的产业链，拓展更多公司、特别是材料企业加入“纳米压印产业链”对于佳能来说也非常重要。

SMM 9月18日讯：9月18日早间，光刻机板块高开，日间涨幅虽不及开盘高位，但涨势依旧可观，截至日间收盘，光刻机（胶）概念板块收涨2.47%。个股方面，同飞股份、波长光电一同20CM涨停，海立股份、凯美特气、张江高科、京华激光等多股均封死涨停板，佳先股份、东方嘉盛等多股纷纷跟涨。 消息面上， 工信部近日发布《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。工信微报介绍称，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。其中在电子专用装备目录下，集成电路设备方面出现了氟化氩光刻机和氟化氪光刻机，这两者均属于DUV光刻机。 据金融界方面消息，氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度，能够支持28纳米工艺芯片的量产。 这不仅是中国在半导体设备领域的一次重大飞跃，也表明了中国在未来几年内有可能达到国际先进水平的决心。此外，近日还有消息称，半导体板块持续景气向上，SEMI全球副总裁、中国区总裁居龙表示，根据半导体设备投资情况分析，2024年中国大陆地区的半导体设备交付额预计将在去年的基础上实现增长，达到400亿美元以上，继续稳居全球最大的半导体设备市场。据预测，将有超过100家新的半导体制造工厂在2022年至2026年间投入运营，这表明半导体设备投资在未来两年内仍有很大的增长空间。 中信证券表示，2024~2025年全球半导体设备市场规模持续提升，其中中国大陆市场领先全球，国内半导体制造产能尚存在较大缺口，设备国产化率还有较大的提升空间。受益于下游需求提升及国产化率的快速增长，看好国内设备、零部件和材料企业在关键领域的新品布局和先进产能带来的订单增量，预计未来2~3年国内设备公司的订单将快速提升。 而其中，光刻机作为半导体制造的核心设备，一直受到荷兰方面的辖制。9月6日还有消息称，荷兰宣布将扩大光刻机的管制范围，随后，商务部发言人就此回答了记者的询问，其表示，中方注意到相关情况。近来，中荷双方就半导体出口管制问题开展了多层级、多频次的沟通磋商。荷方在2023年半导体出口管制措施的基础上，进一步扩大对光刻机的管制范围，中方对此表示不满。近年来，美国为维护自身全球霸权，不断泛化国家安全概念，胁迫个别国家加严半导体及设备出口管制措施，严重威胁全球半导体产业链供应链稳定，严重损害相关国家和企业正当权益，中方对此坚决反对。荷方应从维护国际经贸规则及中荷经贸合作大局出发，尊重市场原则和契约精神，避免有关措施阻碍两国半导体行业正常合作和发展，不滥用出口管制措施，切实维护中荷企业和双方共同利益，维护全球半导体产业链供应链稳定。 荷兰作为全球最大的光刻机生产国，其国内的ASML公司是全球最大的光刻机制造商，占据了全球光刻机市场的主导地位。因此，荷兰半导体出口管制屡屡引发市场热议。而在这一严峻的背景下，国产化替代势在必行。 民生证券此前发布研报称，海外半导体设备供给持续高增满足短期扩产需求，国产光刻机技术亦在持续突破，利好半导体设备自主可控的长期发展，继续看好国内晶圆厂的投资增长和国产半导体设备的国产化机遇，建议关注：北方华创、中微公司拓荆科技、中科飞测、精测电子、芯源微、华海清科等。

SEMI全球副总裁、中国区总裁居龙表示，根据半导体设备投资情况分析，2024年中国大陆地区的半导体设备交付额预计将在去年的基础上实现增长，达到400亿美元以上，继续稳居全球最大的半导体设备市场。据预测，将有超过100家新的半导体制造工厂在2022年至2026年间投入运营，这表明半导体设备投资在未来两年内仍有很大的增长空间。 数据显示，上半年，A股半导体设备板块实现营业收入287.61亿元，同比增长38.45%；实现净利润51.25亿元，同比增长11.95%。行业复苏明显。中信证券认为，2024/25年全球半导体设备市场规模持续提升，其中中国大陆市场领先全球，国内半导体制造产能尚存在较大缺口，设备国产化率还有较大的提升空间。受益于下游需求提升及国产化率的快速增长，看好国内设备、零部件和材料企业在关键领域的新品布局和先进产能带来的订单增量，预计未来2~3年国内设备公司的订单将快速提升。 据财联社主题库显示，相关上市公司中： 蓝英装备 精密清洗设备面向的高端芯片制造行业企业客户包括光刻机制造企业的合资(参股)公司，该客户负责制造光刻机的核心光学系统。 张江高科 旗下微装公司是国内唯一、全球第四家生产前道光刻机的企业。

商务部新闻发言人就荷兰半导体出口管制问题答记者问。 问：9月6日，荷兰宣布将扩大光刻机的管制范围。请问中方对此有何评论？ 答：中方注意到相关情况。近来，中荷双方就半导体出口管制问题开展了多层级、多频次的沟通磋商。荷方在2023年半导体出口管制措施的基础上，进一步扩大对光刻机的管制范围，中方对此表示不满。近年来，美国为维护自身全球霸权，不断泛化国家安全概念，胁迫个别国家加严半导体及设备出口管制措施，严重威胁全球半导体产业链供应链稳定，严重损害相关国家和企业正当权益，中方对此坚决反对。 荷方应从维护国际经贸规则及中荷经贸合作大局出发，尊重市场原则和契约精神，避免有关措施阻碍两国半导体行业正常合作和发展，不滥用出口管制措施，切实维护中荷企业和双方共同利益，维护全球半导体产业链供应链稳定。

“光刻胶的进度如何？”一直以来，成为投资者关注八亿时空的重要话题之一。 8月7日晚间， 八亿时空公开表示，该公司半导体封装用光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）及无氟光敏聚酰亚胺的研发顺利，目前处于小试验证阶段。 市场分析人士普遍认为，光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）作为一种新型光刻胶材料，凭借其优异的光敏性和热稳定性，‌在于半导体和微电子封装等领域，‌具有巨大的应用潜力。 对于半导体封装用光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）产品的研发及最新进展， 八亿时空董秘办人士向《科创板日报》记者表示，该公司半导体封装用光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）项目是2023年提出新项目，专注于i线光刻胶的研发和生产，下游主要面向显示面板、半导体芯片等领域。‌ 对于后续投产， 上述八亿时空董秘办人士表示，目前半导体封装用光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）产品在跟下游客户验证，具体成效上，要看相关产品跟下游客户的匹配度以及批次的稳定性等。 “ 半导体材料认证周期较长，一般为一年至三年左右不等，如果进展顺利，后续的投产速度会快一些。 ”八亿时空董秘办人士补充道。 有光刻胶领域从业人士分析认为，相对于短期内实现量产以及增厚业绩， 八亿时空在半导体封装用光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）领域的布局，更主要的意义在于该公司在原有业务基础上，提出了新产品、新技术，不断拓展新品类布局，驱动其业绩后续陆续提升。‌ 《科创板日报》记者注意到，半导体封装用光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）作为重要的高分子材料，在先进封装等环节有重要作用， 包括国风新材、强力新材等国内上市厂商也有布局。 不过， 从前述供应商的相关产品进度看，国风新材、强力新材的半导体封装用光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）产品仍处于研发和验证阶段，尚未批量化生产。 8月8日，国风新材董秘办人士回应《科创板日报》记者提问时表示，目前该公司与中科大先研院联合开发的半导体封装用光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）相关产品仍处于研发阶段，正按计划推进，暂未量产。 在此之前，6月21日，强力新材在投资者互动平台表示，该公司的先进封装材料有光敏性聚酰亚胺等，目前处于客户认证阶段。 需要指出的是，相较于半导体封装领域，国内光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）在显示面板领域已经实现了量产。 7月16日，鼎龙股份在接受机构投资者调研时表示，公司半导体显示材料PSPI业务已在国内主流面板厂客户批量销售，其中PSPI产品已成为国内部分主流面板客户的第一供应商，确立相关产品国产供应领先地位。 对于国内光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）在半导体封装领域未能量产的原因，前述光刻胶领域从业人士在接受《科创板日报》记者采访时表示，目前国内主流应用的光刻胶仍以ArF光刻胶为主，可适用于不同成熟度和性能要求的芯片制造领域。 光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）是提前布局未来的一个研究方向，距离产业化生产之间还有一段路要走 。 “此外 从技术角度看，光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）在产业化过程中的技术难点在于，其在边缘光刻中表现出的清晰度，能否满足市场要求是关键 。‌”该光刻胶领域从业人士表示。 “ 目前，光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）的市场前景仍存在不确定性。 不过，光敏聚酰亚胺光刻胶（PSPI）作为新材料中的‘新贵’，从前期研发布局、再到产业化落地，以及本土化替代的路径发展模式，已经是业绩的共识。”前述市场分析人士表示。

行业暖风之下，半导体设备需求已开始复苏。 全球光刻机龙头ASML（阿斯麦）今日交出了二季度财报数据： 二季度公司销售额达到62.4亿欧元，同比下滑9.57%，环比增长18%，预期为60.3亿欧元； 净利润15.8亿欧元，预期14.3亿欧元； 毛利率51.5%； 同期在手订单额55.67亿欧元（其中25亿欧元为EUV设备），同比增长超过24%，环比增长约54%， 超出分析师预期。 与前一季度相同的是， 中国在阿斯麦的二季度销售额中，占比约有一半 。 “半导体行业的整体库存水平在持续改善，”ASML总裁兼首席执行官傅恪礼表示，“尽管宏观环境仍存在不确定性， 我们预计半导体行业下半年将继续复苏，2025年进入上行周期 。我们需要为目前全球正在建设的大量新晶圆厂做好准备。” 傅恪礼将2024年称作“过渡年”，公司将进一步投资扩产并提升技术，“我们看到AI发展强劲，推动了大部分行业复苏和增长。”Quilter Cheviot分析师Ben Barringer认为，在阿斯麦的营收中，AI所占比例“相对较小”，但未来一段时间内，这部分营收将大幅增长。 但值得注意的是，阿斯麦预计，2024年第三季度销售额67亿~73亿欧元，毛利率50%~51%。 由于三季度展望不及预期，发布财报后阿斯麦股票在欧洲市场骤跌，截至发稿，跌幅超4.7% 。 至于A股中，已有4家半导体设备公司公布了半年报预告，预告归母净利润增幅最高甚至超过1000%，其中长川科技、北方华创、华海清科 第二季度净利润均创下了单季度历史新高 。 海内外供应商的业绩数据，佐证了行业需求高涨的盛景。SEMI最新发布的《年中总半导体设备预测报告》也指出， 2024年全球半导体设备总销售额预计将达1090亿美元，创下历史新高，2025年有望进一步增长至1280亿美元 。 大陆是全球最大的半导体市场，SIA称占比约29.5%；而半导体研究机构Knometa Research数据显示，截至2023年末，大陆在全球晶圆生产份额约19%，其中，来自大陆本土企业的份额仅为11%，其余为外资公司在大陆建设的产能。且本土制造企业产能多为成熟工艺，先进工艺的占比更小。 在这一背景下，中信证券7月11日报告指出，国内半导体产业具有巨大的产能缺口，预计长期将持续扩产， 短期先进客户订单加速带来更多增量。根据国内各半导体晶圆厂扩产预期，预计2024年半导体设备需求增速超20% ；但是根据中国国际招标网数据统计，测算2023年国内半导体设备整体国产率仅为20%左右。半导体设备国产化率有望快速提升，持续看好国内半导体设备公司近几年订单的高速增长。

“光刻气是公司的拳头产品， 公司自主研发的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4种光刻气是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司，已经销售并产生订单。 ”华特气体总经理傅铸红在2023年年度业绩说明会上回应《科创板日报》记者提问时表示， 该公司2023年实现海外光刻气销售的历史性突破。 财报数据显示，2023年，华特气体营业收入15亿元，同比下降16.8%；归属净利润1.71亿元，同比下降17.18%。截至2024年一季度，该公司实现营收3.33亿元，同比下滑7.3%；实现净利润4509.52万元，同比增长12.68%。 华特气体表示，下游半导体行业恢复不及预期，对该公司营收具有一定影响。 谈及今年以来， 公司下游半导体行业恢复情况及未来走势，傅铸红表示看好。据其引述（SEMI）联合发布的报告内容指出，随着电子板块销售额的上升、库存的稳定和晶圆厂产能的增加，2024年第一季度全球半导体制造业出现改善迹象，预计下半年行业增长将更加强劲。 《科创板日报》记者注意到，在2023年消费电子行业增速放缓、半导体销售回落的背景下， 去年，半导体和显示器专用气体公司SOLE MATERIALS CO.,LTD、新能源发电公司晶澳太阳能成为华特气体新进前五大客户。 在销售收入构成方面，华特气体财务负责人郭湛泉表示，2023年收入端中，IC占比56%左右，仍为该公司主要收入来源；光伏、面板合计占比11%左右。 具体在细分品类市场表现方面，该公司普通工业气体产销量增长最快，其次光刻及其他混合气体产量达到2954.57吨，同比增长10.96%，销售量同比增长13.58%；相比之下，焊接绝热气瓶及其他附属设备产销量降幅最大，均超过四成。 傅铸红向《科创板日报》记者表示，目前该公司的主要重心围绕特气的研发和应用。“ 截至2023年末，其在研项目57项，在研项目中刻蚀类环节应用的产品项目占主要比例；2024年放量新产品主以公司2023年新推出新型氟碳类、氢化物、稀有及其混合类气体。 ” 其中，华特气体在新型含氟气体六氟丁二烯产品主要应用于大规模集成电路先进制程的刻蚀工艺，颇受投资者关注。 在被问及六氟丁二烯市场需求情况时，华特气体董事会秘书万灵芝表示，六氟丁二烯是新一代蚀刻气体，它可取代CF4用于KrF激光锐利蚀刻半导体电容器图形的干工艺，主要应用于3DNAND的蚀刻，尤其是层数增加后，对六氟丁二烯的需求增长更多。“目前六氟丁二烯产品市场价格较稳定。”郭湛泉补充。 据Linx Consulting统计，2021年全球六氟丁二烯的规模为3.1亿美元；富士经济预测2024年市场为4.8亿美元。 由于六氟丁二烯前景广阔，中船特气、中巨芯、南大光电等国内企业正不断加大对六氟丁二烯等含氟蚀刻气体产业的投资砝码，市场竞争进一步加剧。 此次业绩会上，对于在海外市场布局进展，华特气体副董事长石思慧表示，该公司于2022年在泰国设立公司，主以投资现场制气业务为切入点，通过海外公司的区域优势，并依托该公司特种气体产品的优势赋能提升客户认同度。截至目前，该公司在泰国的现场制气项目增加至3个。同时， 其通过收购的海外公司赋能自身的多款产品已通过新加坡“3D NAND制造厂商”的认证。

当地时间周一（4月22日），荷兰芯片设备制造商阿斯麦公司宣布，其已与荷兰埃因霍温市签署了一份意向书，在该市北部机场附近区域探索扩建计划，或能容纳20,000名新员工。 阿斯麦是荷兰规模最大的企业，也是欧洲市值最高的科技公司，其在全球范围内有40,000名员工，其中24,000人在荷兰工作。在光刻机领域，阿斯麦不仅是全球最大的制造商，也是唯一的极紫外光刻机供应商。 阿斯麦首席财务官Roger Dassen在声明中写道，“正如我们之前所说，阿斯麦倾向于将荷兰的核心业务尽可能靠近公司的现有地点，扩建的埃因霍温基地正是位于公司费尔德霍芬总部附近。” Dassen说道，阿斯麦通常将人才、基础设施、住房，以及投资环境视为投资的先决条件。他还提到，荷兰政府最近宣布的措施也起到了帮助作用。 上月月底，荷兰政府公布了一项价值25亿欧元的计划，将在未来几年内，用于改善阿斯麦总部所在地的住房、教育、交通和电网等基础设施。除此之外，荷兰政府还将采取行动来减轻企业的税收负担。 如果新设施能招满员工，将让阿斯麦在荷兰本土的员工数量接近翻倍。荷兰经济大臣阿德里安森斯（Micky Adriaansens）称，阿斯麦的最新决定“表明了这家公司对我们商业环境的信心，以及荷兰内阁承诺对芯片行业的支持。” 但事实上，在25亿欧元计划推出之前，荷兰政府和阿斯麦之间的关系一度非常紧张。去年11月，荷兰极右翼政党自由党在议会选举中获胜，并宣称将推进反移民、限制外国留学生数量等政策，给阿斯麦带来巨大招工和用工压力。 之后有消息称，阿斯麦曾向荷兰政府提出了向其他地方扩张或迁移的意向，法国是选择之一。阿斯麦首席执行官温宁克（Peter Wennink）也在一次会议中提到，如果在荷兰找不到熟练的外国劳工，就会去其他可以发展的地方。

近日，九峰山实验室、华中科技大学组成联合研究团队，依托九峰山实验室工艺平台，支持华中科技大学团队研究“双非离子型光酸协同增强响应的化学放大光刻胶”技术。这一具有自主知识产权的光刻胶体系已在产线上完成了初步工艺验证，并同步完成了各项技术指标的检测优化，实现了从技术开发到成果转化的全链条打通。 光刻胶按下游应用领域可分为PCB、LCD/OLED面板和半导体光刻胶，与光刻胶配套试剂一起在光刻工艺中作为耗材。其中半导体光刻胶壁垒最高，市场增速高于整体光刻胶市场增速。根据SEMI数据，2022年全球半导体光刻胶市场规模为26.4亿美元，同比增长6.82%；大陆半导体光刻胶市场规模为5.93亿美元，同比增长20.47%，增速远高于全球半导体光刻胶市场。国投证券马良分析指出，半导体光刻胶壁垒高，高端半导体光刻胶国产市场需求迫切。 据财联社主题库显示，相关上市公司中： 强力新材 是国内少数布局光刻胶专用电子化学品的企业，技术和产品已经覆盖了PCB干膜光刻胶、LCD光刻胶、半导体光刻胶等主要光刻胶种类中的关键原材料品种。 扬帆新材 部分光引发剂产品下游可应用于光刻胶领域。

商务部今天下午召开新闻发布会，重要内容如下： 商务部：中方起诉是正当之举 美方严重扰乱全球新能源汽车产业链和供应链 针对中国向WTO起诉美国阻碍电动汽车制造商从中国采购电池材料的规定，商务部新闻发言人何亚东表示，美方以应对气候变化低碳环境为名，出台《通胀消减法》及其实施细则，以使用美国等特定地区产品作为补贴前提，制订出台歧视性的补贴政策，这扭曲了公平竞争，严重扰乱了全球新能源汽车产业链和供应链，违反了相关世贸规则，中方起诉既是维护中方新能源汽车企业利益和全球新能源汽车产业公平竞争环境的正当之举，也是为了坚定捍卫以规则为基础的多边贸易体制，坚决维护新能源汽车全球产业链和供应链稳定。 商务部：跨国公司高管看好中国市场前景 将持续投资中国 针对近期多名外籍高管来华考察，商务部新闻发言人何亚东介绍具体情况。何亚东表示，近期商务部领导会见了苹果、高通、奔驰等20多家跨国公司全球负责人，这些跨国公司涵盖了医药、汽车、食品、金融、化妆品、电子信息、化工能源等各个领域，各行各业跨国公司密集访华，感受中国经济回升向好的浓浓春意，彰显了中国市场的强大磁吸力。在交流中我们向跨国公司介绍了中国坚定不移推进高水平开放，持续优化营商环境的政策举措，以及加快发展新质生产力带来的投资机遇。我们欢迎跨国公司积极参与现代化产业体系建设，在中国实现更大更好的发展，跨国公司高管纷纷表示看好中国市场前景，将持续投资中国。总的来看，跨国公司对投资中国依然信心十足，今年1—2月我国新设外商投资企业数增长了34.9%，也印证了这一点。中国不断以更高水平的开放连接世界，选择中国就是选择机遇，投资中国就是投资未来，商务部将一如既往地欢迎各国企业来华投资兴业，共享中国高质量发展的红利。 荷兰首相访华期间双方是否讨论光刻机问题？商务部回应 有媒体提问时称，荷兰首相吕特于本周对中国进行工作访问，这是他时隔5年后再次访华。此次访问双方是否会讨论荷兰光刻机对华出口等问题？对此，商务部新闻发言人何亚东表示，今年是中荷建立开放务实的全面合作伙伴关系10周年。10年来，中国已成为荷兰第三大贸易伙伴，荷兰也是中国的重要外资来源国和对外投资目的地。何亚东说，两国加强包括半导体产业在内的各领域合作，对中荷有利，对中欧有利，对于维护全球半导体产业链、供应链稳定具有积极意义。