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韩媒:韩厂12英寸改8英寸设备正赢得多家日本厂商订单

消息人士称,韩国设备厂商Auros Technology已经从多家韩国和日本芯片制造商获得了8英寸晶圆overlay测量设备的订单,其8英寸OL-100n正在由多达5家公司进行评估。

据TheElec报道,随着8英寸SiC和GaN芯片需求不断增长,全球对8英寸晶圆的需求正在增加。Auros Technology的OL-100n是对原来生产12英寸晶圆的设备进行改进后生产的,可支持6英寸和8英寸晶圆。

据了解,在晶圆制造过程中,设计好的电路图要先刻在晶圆上,然后再对晶圆进行切割和封装。overlay测量设备用于检查晶圆上的电路图案是否正确对齐,将这一过程直接影响晶圆制造的成品率。

Auros Technology此前表示,其OL-100n设备可以对化学物质做出灵活反应并检测电路团,还具备测量硅片上的氧化物和铝膜的功能。该设备正被中国台湾和韩国代工工厂采用,并被韩国研究机构用于芯片研究。

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