“去年是公司高速发展的一年。我们不仅保持了在后道先进封装、化合物半导体等小尺寸领域的领先地位，在前道晶圆制造领域的相关产品业亦取得了非常明显的进步。”芯源微董事长兼总裁宗润福在18日举行的2021年度业绩说明会上称。

宗润福表示，2021年芯源微生产的前道涂胶显影设备获得了多个前道大客户订单及应用，在该领域已实现小批量国内市场。其中，offline涂胶显影机已实现批量销售，I-line涂胶显影机已经通过部分客户验证并进入量产销售阶段，KrF涂胶显影机已经通过客户ATP验收。

在前道物理清洗领域，公司前道Spin Scrubber清洗机设备继前年通过国内部分重点客户验证通过后，2021年逐步上量，获得了中芯国际、上海华力、武汉新芯、厦门士兰集科等国内多家Fab厂商的批量重复订单。

宗润福进一步透露，公司目前在手订单饱满，2022年新签订单继续保持了高速增长。“从今年第一季度签单的情况来看，公司前道领域产品已经开始放量，在今年新签订单的结构中，前道产品的占比大幅提升。”

芯源微没有继续披露最新订单数据，但近阶段的合同负债及存货数据从侧面反映了客户预售情况。截至2022年3月末，公司合同负债金额为4.34亿元，同比增长169%，环比增长23%，占2021年营收的52%；存货金额为10.82亿元，同比增长103%，环比增长16.1%。

前道产品的产能利用率方面，芯源微在去年下半年即处于满负荷生产阶段。数据显示，2021年1-9月，公司前道涂胶显影设备和前道清洗机的产能利用率分别为100.00%、135.29%。

对此，宗润福回复称，高端晶圆处理设备（一期）已于2022年第一季度陆续投入使用，目前正处于产能爬坡阶段，可以极大地缓解订单增长带来的产能压力。而将高端晶圆处理设备（二期）作为募投项目之一的定增计划，亦于2022年3月22日获得证监会注册批文。（注：上述两个项目主要生产前道产品）

芯源微副总裁兼董秘李风莉表示，目前正在筹备发行阶段，会根据市场及股价情况择机启动发行。“公司根据定增项目建设需要，先期会以部分自有资金投入，待定增募资到位后按照规定进行置换。”

不过，从毛利率来看，芯源微自2021年以来存在一定波动，整体毛利率近三年有下降趋势。截至2021年末，公司毛利率为38.08%，同比下降4.5个百分点。

“由于前道Track目前正处于市场开拓阶段，毛利率水平尚未完全稳定。加上2021年存在部分供应链紧张的情况，公司毛利率水平有所波动。”宗润福回应称，随着公司前道涂胶显影设备的产品标准化定型和未来大批量生产带来的规模效应，以及零部件国产市场的不断推进，未来公司毛利率水平将得到修复。

从产品线来看，光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备产品的毛利率分别同比减少4.98、3.18个百分点。而从销售区域来看，港澳台地区毛利率同比减少15.15个百分点至27.49%，但该区域销售金额的营收占比为2.67%。