高纯稀土金属及合金靶材在新能源汽车、集成电路、新型显示、5G通讯等领域不断得到新的应用，成为高新技术产业发展不可或缺的关键材料，对其纯度要求日益严苛与多样化，需求量也与日俱增。如稀土钪铝合金靶材制备的压电薄膜是5G通讯、相控阵雷达、电子对抗系统滤波器的核心材料，当掺杂 Sc的含量达到 43%时，薄膜的压电系数可提高400%；OLED显示屏的金属阴极层中，金属镱替代镁/银阴极，可以解决折叠问题；新能源汽车及压缩机用的稀土永磁体，通过稀土铽镝靶材薄膜渗透的方式可减少高价稀土金属用量90%；10nm线宽以下集成电路应用稀土作为高介电材料及金属栅极，可以解决核心漏电问题。

稀土金属涵盖16种元素（钷除外），性质活泼、熔点高，提纯难度大；金属及合金塑性差，变形加工困难。高纯稀土金属及合金靶材制备技术及装备长期被少数国家掌握，且对我国严格封锁。国内缺乏核心制备技术和装备，产品尺寸、品质落后于国际先进水平，以小尺寸实验用靶材为主，存在靶材溅射效率偏低、批次稳定性差、生产化规模小等问题。