在台积电先前采购EUV (极紫外光) 微影系统设备之后，英特尔和ASML共同宣布首度率先采购下世代最新EUV设备High-NA，并计划2025年导入量产。

依据双方共同新闻稿提到，英特尔和ASML加强合作，推动High-NA在2025年投入制造，此次是英特尔率先且首次订购ASML的TWINSCAN EXE：5200系统，象征着迈出关键一步。

ASML并未揭露哪家半导体厂率先采用下世代EUV，不过自2018年已经接获4台新一代High-NA EUV (TWINSCAN EXE:5000) 订单，当时就被业界点名是台积电率先预定。

如今英特尔则率先采采购TWINSCAN EXE：5200，让ASML再度接到一笔新的High-NA EUV订单。