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超车台积电 英特尔率先采购下世代EUV设备

【超车台积电 英特尔率先采购下世代EUV设备】在台积电先前采购EUV (极紫外光) 微影系统设备之后,英特尔和ASML共同宣布首度率先采购下世代最新EUV设备High-NA,并计划2025年导入量产。

在台积电先前采购EUV (极紫外光) 微影系统设备之后,英特尔和ASML共同宣布首度率先采购下世代最新EUV设备High-NA,并计划2025年导入量产。

依据双方共同新闻稿提到,英特尔和ASML加强合作,推动High-NA在2025年投入制造,此次是英特尔率先且首次订购ASML的TWINSCAN EXE:5200系统,象征着迈出关键一步。

ASML并未揭露哪家半导体厂率先采用下世代EUV,不过自2018年已经接获4台新一代High-NA EUV (TWINSCAN EXE:5000) 订单,当时就被业界点名是台积电率先预定。

如今英特尔则率先采采购TWINSCAN EXE:5200,让ASML再度接到一笔新的High-NA EUV订单。

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