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万业企业新设嘉芯半导体设备子公司 打造半导体新设备开发平台 【机构评论】

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事件: 2021 年 12 月 23 日,公司发布公告:公司控股子公司长三角一体化示范 区嘉芯半导体设备科技有限公司(简称“嘉芯半导体”)与嘉善县西塘镇人民政 府签订了项目投资协议书,项目总称为“长三角一体化示范区(浙江嘉善)嘉芯半导体设备科技有限公司年产 2,450 台/套新设备和 50 台/套半导体翻新装备项 目”,将包括 6 个子公司,2 个事业部。项目公司未来主要从事刻蚀机、快速热 处理、薄膜沉积、单片清洗机、槽式清洗机、尾气处理、机械手臂等 8 寸和 12 寸半导体新设备开发生产及设备翻新,项目投资总额合计 20 亿元人民币,其中 公司投资将不超过人民币 8 亿元。

点评:公司设立嘉芯半导体,实现由离子注入机到半导体设备平台的跨越。公司 目前主要的半导体设备产品是其子公司凯世通的离子注入机,首台低能大束流离 子注入机在国内一家大型 12 英寸晶圆厂完成验证并确认收入,1 台低能大束流 重金属离子注入机和 1 台低能大束流超低温离子注入机已交付客户,高能离子注 入机设备按客户交付计划进行组装,新增与国内另一家 12 英寸晶圆厂签署 1 台 低能大束流超低温离子注入机和 1 台高能离子注入机订单,打破国外设备厂商的 垄断地位,是国内离子注入机的领军企业,也是国内头部晶圆大厂中芯国际的战略供应商,离子注入机进入放量期。

根据华经产业研究院的统计,2020 年离子注入机的销售额在半导体前道设备销 售额中的占比约为 3%左右,相比于薄膜沉积机的 26.9%、刻蚀机的 23.9%以及 清洗设备的6.7%其空间相对较小。公司 2021 年 4 月 29 日设立子公司嘉芯半导 体,持股比例达 80%,为第一大股东,宁波芯恩持股比例 20%,为第二大股东。 嘉芯半导体未来从事薄膜沉积机、刻蚀机、清洗设备以及快速热处理等新设备的 开发,能够极大地扩展公司未来在半导体设备领域的成长空间,完成“1-离子注 入机”到“N-平台型:刻蚀机、薄膜沉积机、清洗设备、离子注入机以及快速退火等”的跨越,平台型半导体设备公司雏形已经显现。

外延内生助力公司转型集成电路核心装备领域,布局日趋多元化平台化。近年以来,公司通过“外延并购,内延生长”的方式积极从房地产业务转型集成电路核 心装备业务。除了核心产品离子注入机外,公司 2020 年 12 月牵头境内外投资人完成对全球领先的集成电路气体输送系统领域精密零组件及流量控制解决方 案供应商 Compart Systems(CS)的收购,目前持股比例 33%,并间接成为 CS 的第一大股东。CS 是应用材料等海外巨头的核心供应商,预计 2021 年其营业收入有望达到 10 亿元,2022 将继续保持强劲增长。另外,公司作为上海半导体装备材料基金投资的主要 LP 投资了华卓精科、上海精测、长川科技、上海御渡等,覆盖了光刻机核心零部件-双工件台、半导体前道检测设备、后道测试机 等核心设备,公司集成电路核心装备领域布局日趋多元化平台化。

盈利预测、估值与评级:公司积极转型集成电路核心装备领域,子公司凯世通离子注入机形成重大突破,有望持续放量,另外其设立嘉芯半导体从事新设备的开 发以及并购 Compart 完成设备核心零部件的布局,我们持续看好公司外延内生的成长前景,维持公司 2021-2023 年的归母净利润分别为 3.84 亿元、5.22 亿元、 5.51 亿元,当前市值对应的 PE 分别为 82x、60x、57x,维持“买入”评级。

风险提示:客户导入及验证不及预期,晶圆厂扩张不及预期,技术研发不及预期。

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