【阿斯麦新光刻机初次曝光 “双层巴士”即将开赴生产前线!】①周三,阿斯麦证实其高数值孔径EUV光刻机初次曝光,代表着其已经完成基本功能验证;
②第一个设备位于荷兰Veldhoven的阿斯麦尔实验室,第二台则正在美国的英特尔工厂进行组装;
③台积电和三星电子等顶尖大厂都计划在未来五年内应用该设备。
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来源:上海有色金属网 分享
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