万华电子乙硅烷项目试产成功

来源:上海有色金属网

【万华电子乙硅烷项目试产成功】近日,烟台万华电子材料有限公司传来好消息,其自主研发的乙硅烷产线一次性投料开车试产成功,将打破国内对乙硅烷这一关键原材料的进口依赖,实现国产替代!万华电子于2023年6月开始进行乙硅烷项目产业化建设,历时18个月建设完成,并取得试生产批复,现已拥有完整的具有自主知识产权的工艺包,经鉴定项目技术已经达到了国际先进水平。2024年11月初,该项目一次性投料开车试产成功!万华电子自主研发、生产的乙硅烷产品具有更高薄膜致密度,大幅提升及改善沉积薄膜的平滑性、连续性,良好掺杂兼容性及低沉积温度,并且大幅提高成膜速率、生产效率等优势。万华电子是万华节能集团为响应国务院《中国制造2025》和山东省“新旧动能转换”决策部署而成立的专业从事乙硅烷、高纯硅烷等电子气体研发、生产、销售和服务的高科技企业。

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