光刻机是半导体制造过程中至关重要的设备，我国光刻机设备几乎完全来自进口，而荷兰掌握着世界最先进的光刻机技术，也是我国光刻机第一大进口来源国。2023年，随着荷兰加入美国对华芯片出口管制阵营，我国半导体产业又一次面临重大挑战。

基于此，集微网将通过数据详细解读我国光刻机从荷兰进口情况，并发布《中国半导体海关进出口数据-光刻机荷兰进口额》。

据中国海关总署数据，2023年，我国光刻机进口总额87.54亿美元，同比增长120.9%，其中，从荷兰进口额72.3亿美元，同比增长183.8%，荷兰进口额占进口总额82.6%，同比增加18.3个百分点。

2023年爆发式增长

据集微咨询（JW Insights）统计，2015年-2023年，我国从荷兰进口光刻机总额217.38亿美元，进口总数915台，平均每台超过2300万美元。在此期间，进口金额每年持续增长，2018年起同比大幅提升，2019年和2022年有所回落，2023年大幅度增长。

我国从荷兰进口的光刻机几乎完全来自阿斯麦。2015年-2023年，阿斯麦中国大陆销售总额232.42亿美元，2023年，销售额为80.1亿美元，同比增长157.6%。

沪鄂京进口额位列前三

按国内分注册地进口情况看，2023年，共有13个省市进口了光刻机，其中进口量前五的是上海市（15.07亿美元）、湖北省（14.24亿美元）、北京市（12.25亿美元）、广东省（10.2亿美元）和安徽省（9.85亿美元），占比分别为20.84%、19.7%、16.94%、14.11%和13.62%，合计占比85.22%。

我国各省市光刻机的进口量往往能反映该地区晶圆厂规模及产能情况。据集微咨询（JW Insights）统计，上海地区主要有中芯国际、积塔、上海台积电、华虹、鼎泰匠心、上海格科微、Diodes；湖北有武汉新芯、长江存储；北京地区有中芯国际、长鑫存储、赛微电子、燕东微电子；广东地区有中芯国际、广州粤芯、广州增芯、润鹏半导体；安徽地区有晶合集成、长鑫存储等。

下半年起大幅提升

从各月份来看，2023年全年进口额从6月份起开始大幅增长，9月份进口额最高，12月份次之。集微咨询（JW Insights）分析师表示，荷兰于2023年6月份宣布了出口管制禁令将于9月起实施，根据相关出口法规，自2024年1月1日起，中国大陆的企业将很难获得出口许可证，因此不少企业在此前突击进口光刻机以满足产能需求。

值得注意的是，日前荷兰贸易部长Van Leeuwen表示，由于担心ASML的芯片制造设备被用于军事目的，荷兰政府近期已经决定撤回ASML对中国出口部分产品的许可证。

附注：

本文数据统计口径：中国海关编码为“84862031”和“84862039”，商品名称为“制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机”和“其他投影绘制电路图的制半导体件或IC的装置”的海关总署统计数据情况。根据海关总署进出口税则商品及品目注释，该这两类为制造半导体器件或集成电路用的机器及装置中的光刻设备。

光刻设备，用以将电路图案转印到涂有光刻胶的半导体晶圆表面，例如：

1.在晶圆上涂布光刻胶用的设备，包括将液态光刻胶均匀地涂布在晶圆表面上的旋转涂胶机。

2.对已涂布光刻胶的带电路图案（或部分图案）的晶圆进行曝光的设备：

（1）使用掩膜版或光掩膜，并将光刻胶曝光（通常用紫外线），有时用X射线：

①接触式光刻机，曝光时掩膜版或光掩膜与晶圆相接触。

②接近式光刻机，类似于接触式光刻机，只是掩膜版或光掩膜与晶圆之间不发生实际接触。

③扫描光刻机，采用投影技术，对扫过掩膜版与晶圆的一条连续运动的狭缝进行曝光。

④分步重复光刻机，采用投影技术，每次曝光晶圆的一部分。可将掩膜版缩小或1：1地对晶圆进行曝光。增强措施包括使用受激准分子激光器。

（2）晶圆直接写入设备。这类装置不使用掩膜版或光掩膜进行操作，而是采用自动数据处理设备控制的“写入电子束”〔例如，电子束或称E-束、离子束或激光〕将电路图案直接“绘制”在涂布光刻胶的半导体晶圆上。