英特尔欧洲产能扩产计划再进一步,位于爱尔兰Leixlip的Fab 34首批设备已正式入场,预计将于2023年正式上线,届时将能够生产被其称之为Intel 4的制程工艺(相当于7nm)。
据eeNews报道,在首批入驻Fab 34的设备中,光刻胶轨道被首个推入洁净室,其作用是在EUV扫描仪内对准和曝光之前,为晶圆提供精确的抗蚀剂涂层。
Fab 34项目于2019年启动,耗资70亿美元,项目建成后将使得英特尔在爱尔兰的制造能力扩大一倍,并将为其欧洲开展的业务提供关键的先进工艺技术。
英特尔在爱尔兰的扩张是该公司全球工厂扩建的一部分。英特尔在亚利桑那州、新墨西哥州、俄勒冈州和马来西亚、以色列和俄亥俄州拥有数百亿美元的新制造基础设施,预计还将宣布在欧洲增设一个工厂。
此外,英特尔已从ASML订购了第一台High NA光刻机,从2025年起可用于1.8nm工艺技术。