12月2日，至纯科技在互动平台上表示，合肥晶圆再生项目已正常量产供货。

至纯科技进一步指出，晶圆再生项目一期已正式量产，产能正在爬坡，二期项目将在一期产能充分释放后逐步启动。

至纯科技在2021年中报中表示，公司重资投入的晶圆再生业务系自身在湿法工 艺设备、高纯化学品供应系统、工艺团队等原有业务能力的优势整合，又能有效解决高阶晶圆制 造中晶圆再生依靠出口处理的问题。公司于合肥新站投资的晶圆再生和部件再生项目已于 2021 年 7 月正式量产，产能需要一定时间爬坡，有望在 2021 年度贡献 2 个月度的产值。