芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运

2025年11月25日,上海芯上微装科技股份有限公司(AMIES)再传捷报:公司自主研发的首台350nm步进光刻机(AST6200)正式完成出厂调试与验收,启程发往客户现场,标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破!这不仅是一次产品的交付,更是国产半导体装备向高端化、自主化迈进的重要里程碑。

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Cathy
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