继设备、材料等上游环节之后，大基金首度将目光瞄向了半导体零部件赛道。3月30日晚间，万业企业公告称，参股子公司浙江镨芯将迎来大基金二期等的增资。有分析人士认为，受益于政府和行业的高度重视，作为卡脖子环节的半导体零部件，已初步形成国产化趋势，迎来投资元年。

3月30日晚，万业企业发布公告，大基金二期和装备材料基金拟向万业企业参股子公司浙江镨芯增资3.9亿元。增资完成后，万业企业以29.63%的持股比例为浙江镨芯第一大股东，大基金二期持有浙江镨芯17.28%的股权，装备材料基金将持有浙江镨芯1.975%股权。

公开资料显示，2020年12月，万业企业联合境内外投资人以浙江镨芯和镨芯控股为持股主体，完成对Compart Systems的收购，间接成为其第一大股东，后者为气体输送系统的龙头供应商。为推进半导体核心零部件的国产化进程，公司于去年6月签约海宁启动Compart制造中心项目，总投资约30亿元。

从万业企业了解到，Compart目前在中国深圳和马来西亚库林各有一座工厂，具备高规格百级洁净室，可提供具有高附加值的组件制造和一体化技术服务，已成为应用材料、Ichor、UCT等国际设备龙头的核心供应商，并已打入国内半导体设备公司供应链。

而大基金此次将投资范围延伸至零部件领域，则是因为本土厂商相对薄弱和其独特重要性。

“零部件相比于设备整机而言市场规模不大，但确实是典型的以小制大的卡脖子环节。”芯谋研究总监王笑龙表示，美国制裁中国晶圆制造企业，部分中国设备厂商也不得不屈从于美国禁令，其根源还是在关键零部件上依赖美国。

万业企业方面告知，当下本土零部件企业的技术能力、工艺水平、产品精度和可靠性差距较大，整体国产化率仅为10%-30%，尤其在Compart相关的流量控制领域，之前的国产化率几乎为零。

“大部分零部件中国厂商都掌握基础技术，只是暂时达不到半导体的标准，在有较强实力的客户的带动下并非没有机会。国产Quartz、RF generator、Shower head、Edge ring、MFC、Ceramic等零部件，都已在晶圆线上广泛验证甚至是批量出货，未来将进一步站稳市场，逐步摆脱对美依赖，只是时间各有长短而已。”王笑龙称。

他认为，要解决半导体生产设备零部件卡脖子问题，首先需要国内晶圆厂和设备厂同时高度重视，协同本土零部件厂商联合攻关。本土晶圆线要敢于给国产设备和零部件验证机会，切实发挥大生产线组织协调的作用。设备原厂要发挥连接两端的串联作用，积极主动推进对国产零部件厂商的认证并推荐给客户。

与此同时，海外企业的资金和技术资源也不可忽视。王笑龙表示，即使是国际设备巨头，为便捷服务大陆生产线客户，也在推动部分零部件的国产化。而在疫情的影响下，国际设备巨头构建本土零部件供应链，以保障大陆客户所需的积极性也大幅提升。相关部门在继续支持国际设备巨头在华发展的同时，应对其提出协助构建国产零部件供应链的要求或期望。

“目前，国内已经涌现出一批半导体零部件企业，如万业企业通过参与收购Compart布局零部件业务，新莱应材与应用材料、Lam Research在真空系统领域长期合作，以及江丰电子、神工股份等。”中银证券半导体首席分析师杨绍辉在相关研报中表示。他认为，作为卡脖子的关键技术关节，半导体零部件已受到政府和行业内的高度重视，而受益于零部件国产化率的提升及国内外半导体设备的高成长，今年将成为半导体零部件的投资元年。