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杭州、宁波引领 浙江“两极多点”集成电路产业发展格局逐步形成

经过多年潜心发展,浙江省已成为我国集成电路版图的一颗明珠。

近日,浙江数字经济发展2022年工作要点再度提出,提升集成电路和软件产业能级,开展“芯机联动”对接,推进集成电路公共创新和服务平台建设,力争完成集成电路投资350亿元以上,实现集成电路及相关产业营收1800亿元。

伴随全省产业规模不断扩大的同时,浙江省内已逐步形成以杭州、宁波为引领,嘉兴、绍兴和丽水等地协同发展的“两极多点”的产业发展格局。

杭州:设计、制造双推动

2021年,杭州在“十四五”规划纲要中明确将集成电路产业定为未来主攻的“制造业九大标志性产业链”之一。从产业布局看,杭州确立了“市级统筹,各区兼顾”的集成电路产业发展总体规划和导向,滨江依托杭州国家“芯火”双创基地,形成国内领先的、较为完善的“芯片-软件-整整机-系统-信息服务”的产业生态体系。

此前,杭州经过多年深耕研发,在集成电路设计方面优势明显。从2018年起,杭州的集成电路设计业销售规模一直稳居深圳、上海、北京之后位列全国第四,2021年杭州市集成电路设计业持续保持高速增长的态势,全年销售额预计达366.9亿元,较2020年增长72.5%,比全国同业增速高52.4个百分点。

目前,杭州涉及企业数量超全省3/4,既包括矽力杰半导体等上市企业,也包括平头哥半导体、国芯科技、华澜微电子、杭州朗迅科技等一批代表性企业。在EDA软件领域,杭州广力微、行芯科技、法动科技等企业也在加速突破。

除IC设计外,杭州在芯片制造领域的优势也在不断提升。目前,杭州已拥有多条芯片制造生产线,并在特色工艺芯片制造形成了较强优势。如:士兰微8英寸生产线扩产项目、富芯半导体模拟芯片IDM项目(12英寸)、中电海康高端存储芯片产业化项目(12英寸)等。士兰集成、士兰集昕、立昂微、立昂东芯在杭州也有相应布局。

此外,杭州在集成电路的封装、材料、设备等方面也已经具备一定规模,代表企业有大和热磁、海纳半导体、长川科技等,中欣晶圆更是成为国内代表性硅片制造企业。日本Ferrotec大尺寸硅片项目(杭州中欣晶圆半导体股份有限公司)还被列入杭州“十四五”高新技术产业重大项目清单。

宁波:以特色工艺集成电路为切入点

2017年3月,宁波市发布《关于加快推进集成电路产业发展的实施意见》后,此后,宁波陆续发布了如《宁波市关于实施“246”万千亿级产业集群培育工程的意见》、《宁波市制造业高质量发展“十四五”规划》、《宁波市特色工艺集成电路产业链培育方案》、《宁波市光学电子产业链培育方案》等政策,为集成电路产业发展不断加码。

目前,宁波形成从半导体材料、设备、设计、制造、封测等完整产业链,集成电路产业重点企业主要分布在在北仑区、鄞州区、前湾新区等地。从宁波发展路径来看,宁波坚持以特色工艺集成电路为切入点,打造了较为优秀的企业梯队。

2016年,中芯宁波落户北仑区,专注于射频前端、高压模拟和光电集成特种工艺半导体领域。2018年1月,中芯宁波200毫米特种工艺N1产线投产,年产33万片8英寸汽车电子及模拟芯片N2项目正式开工。

据《宁波市电子信息制造业产业集群“十四五”发展规划》,目前,宁波建成了国内唯一量产化的自主可控高压模拟及射频集成电路特种工艺生产线。

以特色工艺产线为重要抓手,宁波逐步打通上下游产业链。

在封测领域,2017年12月,甬矽电子高端IC封测项目开工。在光刻胶领域,南大光电“ArF光刻胶产品开发和产业化”项目取得了突破,成为国内通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶。此外,宁波还聚集了一批金瑞泓、康强电子、江丰电子等集成电路材料企业。

在发展目标方面,到2025年,宁波力争电子信息制造业总体竞争力明显提升,成为全国领先的特色工艺集成电路产业基地、具有国际影响力的电子信息制造业集聚地;全市电子信息制造业总产值突破5000亿元。

嘉兴、绍兴、丽水加速布局

除杭州、宁波两大重点城市以外,近年来,嘉兴、绍兴、丽水等地发展集成电路产业积极性高涨,并已取得一定成效。

绍兴

20世纪80年代,原国家集成电路五大骨干之一的871厂落户绍兴,多年的积累为绍兴奠定了坚实的产业基础。2019年,绍兴集成电路产业平台被列入浙江省首批“万亩千亿”新产业平台培育名单,绍兴集成电路产业创新中心建设被写入《长江三角洲区域一体化发展规划纲要》。

在绍兴,中芯绍兴项目是重点布局内容之一。2018年3月,总规划9566亩的绍兴集成电路小镇启动建设。同月,中芯国际绍兴项目落户小镇。78天后,该项目奠基开工。去年12月实现了单月产出10万片的目标,2021年全年收入突破20亿元。

在封测领域,今年1月15日,总投资80亿元的长电绍兴300mm集成电路中道先进封装生产线投料运行,这标志着该项目正式投产。该项目达产后将形成12英寸晶圆级先进封装48万片的年产能。

十四五期间,绍兴集成电路产业发展思路也相当明晰:聚焦集成电路设计-制造-封装-测试-设备及应用的全产业链,打造国内重要的集成电路产业高地和产城融合发展引领高地,建设成为绍兴市经济增长新引擎、浙江省产业高质量发展示范平台,力争总产值到2022年实现500亿元,到2025年突破1000亿元。

嘉兴

根据嘉兴“十四五”工作规划,嘉兴将重点培育集成电路、人工智能、氢能源、航空航天、半导体等一批新兴产业。超前布局和发展柔性电子、区块链、虚拟现实等未来产业。

嘉兴市集成电路产业主要集聚于南湖生命健康微电子产业生态园、海宁泛半导体产业生态园、嘉善经济技术开发区等载体,打通集成电路设计、封测、材料、装备等各个环节,集聚了斯达半导体、闻泰通讯、博创科技、赛思电子等一大批集成电路上下游领域企业。

在材料领域,今年1月9日,国晶(嘉兴)半导体全线打通全自动产线,拥有可生产12英寸抛光片的领先技术,设计年产能达480万片。

在功率器件领域,赛晶亚太IGBT大功率半导体项目总投资52.5亿元,一期投资17.5亿元,计划建设2条IGBT芯片生产线。总投资25亿元的氮化镓射频及功率器件项目正式开工。该项目总投资25亿元,将引进6英寸晶圆生产线兼容4英寸氮化镓生产线设备。

丽水

从2019年到现在,中欣晶圆、晶睿电子、广芯微电子、江丰电子和珏芯微电子等多家企业已经落户丽水。

目前,丽水半导体全链条产业正在谋划两个基地,一个是以中欣晶圆和晶睿电子为主的全国外延片生产制造基地,另一个是以同创特材为主的电子级超高纯钽材料产业基地。

2021年11月,超大规模集成电路制造用超高纯钽项目投产仪式在丽水经济技术开发区同创(丽水)特种材料有限公司电子束炉生产区举行。随着该项目第一台拥有完全自主知识产权的设备顺利“点火开炉”,丽水经济技术开发区也成为了国内第一个电子级超高纯钽材料产业基地。

2021年11月17日,丽水中欣晶圆外延项目正式开工,预计将于2022年11月竣工、2023年投产运营,全部达产后,年产值将达50亿元。丽水中欣晶圆外延项目总投资40亿元,是日本Ferrotec集团继中欣晶圆杭州项目之后单体在中国投资的第二大项目,将在经开区首期建设年产120万片8英寸(以特殊需求外延片为主)、年产240万片12英寸外延片,未来可扩产至8英寸年产240万片、12英寸年产360万片。

晶睿电子电子级晶圆片、外延片制造项目自2020年10月底土建开工,项目总投资55亿元,其中一期投资5亿元,主要进行高端电子级半导体材料(8-12英寸晶圆片)切磨、抛光、外延等材料的研发、制造,以及第三代化合物半导体外延片的生产。

据悉,丽水经开区半导体全链条产业已成功纳入省政府《关于促进集成电路产业健康发展的实施意见》,这将为丽水经开区半导体产业从更大范围、更高层次,拓展发展的空间。

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