近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司华中总部正式落户光谷，预计明年初正式投入运营。中微半导体设备（武汉）有限公司已于7月28日完成注册，注册资本5000万元。项目聚焦核心半导体设备研发，计划建设华中总部及研发中心，开展薄膜、刻蚀、外延等核心半导体设备的研发，服务武汉乃至华中地区重点客户。