【拓荆科技、盛美上海等4家半导体设备商成立合伙企业 定位产业零部件投资】①中科共芯系2023年12月12日注册成立，注册资本1.8亿元，背后出资人包括拓荆科技、中科飞测、微导纳米、盛美上海等。 ②中科共芯定位是一家投资平台，投资范围将聚焦半导体设备零部件，并且将会以战略性投资为主。