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楚江新材:控股子公司拟投建碳化钽产业化项目

楚江新材公告,控股子公司顶立科技拟以自有资金2941万元投资建设碳化钽产业化项目。本项目计划围绕碳化硅(SiC)单晶生长用碳化钽(TaC)涂层石墨进行研制,TaC涂层石墨件是SiC生长设备内用于导流的重要易耗部件。

目前第三代半导体用关键材料与装备基本被发达国家先进企业所 垄断,本项目的研制对解决制约我国第三代半导体产业发展的技术瓶 颈,实现关键材料与装备的自主可控具有重要意义。

楚江新材公告,控股子公司顶立科技拟以自有资金2941万元投资建设碳化钽产业化项目。本项目计划围绕碳化硅(SiC)单晶生长用碳化钽(TaC)涂层石墨进行研制,TaC涂层石墨件是SiC生长设备内用于导流的重要易耗部件。

目前第三代半导体用关键材料与装备基本被发达国家先进企业所 垄断,本项目的研制对解决制约我国第三代半导体产业发展的技术瓶 颈,实现关键材料与装备的自主可控具有重要意义。

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