2025年2月8日事关光刻机！这一新型部件或重塑现有系统光源效率有望提升10倍

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【事关光刻机！这一新型部件或重塑现有系统光源效率有望提升10倍】①据悉，大孔径铥激光器或有望取代EUV采用的二氧化碳激光器；
②BAT系统使用掺铥元素的氟化钇锂作为增益介质，从而增加激光束的功率和强度；
③此外，BAT系统中使用的二极管泵浦固态技术可以提供更好的整体电气效率和热管理。（科创板日报） (详情)

来源：上海有色金属网 2025-01-07 17:47:51

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