来源:上海有色金属网

【信越在日台扩产光刻胶】据日经报道,日本信越化学将斥资300亿日元(约2.85亿美元),扩产EUV(极紫外)光刻胶、ArF(氟化氩)光刻胶、以及提升尺寸精度的多层光刻胶,以扩充对半导体关键材料的供应。此次实施扩产的是直江津工厂(新泻县上越市)和台湾云林县工厂。

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