来源:上海有色金属网

【晶盛机电:8英寸硅外延炉和6英寸碳化硅外延炉通过客户验收】 日前,晶盛机电外延设备研究所自主研发的8英寸单片式硅外延炉和6英寸碳化硅外延炉(4英寸工艺)通过客户验收。同时,晶盛自主研发的6英寸碳化硅外延炉4英寸工艺也获得客户验收,现进行6英寸工艺调试,目前工艺验证顺利进行。

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