有研稀土“高纯稀土金属、合金靶材及其制备技术”获2019年中国有色金属工业协会科学技术进步一等奖

有研科技集团有限公司、有研稀土新材料股份有限公司联合开发的“高纯稀土金属、合金靶材及其制备技术”获得2019年中国有色金属工业科学技术奖一等奖。

SMM网讯:有研科技集团有限公司、有研稀土新材料股份有限公司联合开发的“高纯稀土金属、合金靶材及其制备技术”获得2019年中国有色金属工业科学技术奖一等奖。

高纯稀土金属及合金靶材作为溅射薄膜材料已成为众多稀土功能材料及其器件的关键核心材料,广泛应用于集成电路、新型显示、移动通讯等高新技术领域,为高新技术产业创新提供重要支撑。但是我国稀土金属及靶材生产技术、设备相对落后,产品档次低,相关高端应用市场及核心技术被国外掌握。

本项目为满足我国高新技术产业对高端稀土金属、合金靶材的迫切需求,突破了电子信息等用稀土靶材产品及相关共性关键技术,自主开发出稀土金属和靶材产业化制备技术及多台套专用生产装备。自主研发的电子信息用钇、铒、镧、钆、钪靶材及OLED用高纯镱蒸发料,纯度大于4N,60种杂质元素总量小于100 ppm,其中,高纯镱蒸发料产品已在国内多个OLED厂家实现应用;开发的高钪含量(Sc>20%)铝钪合金靶材产品,纯度≥3N5;高性能稀土永磁用铽、镝靶材实现规模生产,国内外市场占有率超过85%。高纯稀土金属及合金靶材的国产化制备,为国产化芯片及其器件的开发和高性能磁材提供了关键原料保障。

 

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